2月29日，半导体板块大面积异动，昨日披露业绩快报的中微公司、盛美上海等设备龙头抢先走高，并带动半导体设备板块情绪回暖。华亚智能、江化微封涨停，上海新阳涨逾5%，富创精密、拓荆科技、盛美上海、中微公司、北方华创涨逾7%。　　ETF方面，更聚焦半导体设备、材料等上游产业链的半导体设备ETF（561980）早盘直线拉涨，截至发文涨幅5.05%，表现强于全产业链半导体主题指数。　　据了解半导...